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電子制造特別是半導(dǎo)體、集成電路等生產(chǎn)中，產(chǎn)品的微小結(jié)構(gòu)對空氣中的灰塵、微粒非常敏感。即使是微米級的顆粒物，也可能對電子元件的功能和性能造成影響。因此，潔凈室必須保持一個極低的顆粒物濃度，以防止污染產(chǎn)品。

薄膜材料無塵車間塵埃粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)是一款專門應(yīng)用于潔凈環(huán)境的潔凈度監(jiān)控和微粒子計數(shù)檢測等領(lǐng)域的精密測試儀器。可視化設(shè)計使得操作者能夠便捷地進行校準(zhǔn)和調(diào)試，極大地提升了使用體驗。其次，儀器在穩(wěn)定性方面表現(xiàn)出色，能夠在長時間運行中保持穩(wěn)定的測量性能。此外，測量精度高也是其一大亮點，能夠為用戶提供可靠的數(shù)據(jù)支持。在體積和重量方面，該儀器設(shè)計緊湊，體積小巧，重量輕便，便于攜帶和安裝，不會給使用者帶來額外的負(fù)擔(dān)。

工作原理

基于光散射原理作為其核心理論基礎(chǔ)，這一原理利用光與塵埃粒子相互作用時產(chǎn)生的散射現(xiàn)象，空氣中的塵埃粒子在光照射下發(fā)生散射，散射光的強度隨粒子的表面積增加而增大，根據(jù)測定的散射光強度推知粒子的大小。

結(jié)合良好的光電傳感技術(shù)，融合高靈敏度的光電探測器和精密的信號處理算法，能夠高效、準(zhǔn)確地實現(xiàn)對塵埃粒子粒徑的精確檢測。同時，該技術(shù)還能夠?qū)αＷ訑?shù)量進行準(zhǔn)確計數(shù)，通過高精度的計數(shù)算法和實時數(shù)據(jù)處理能力，確保在復(fù)雜環(huán)境中也能準(zhǔn)確統(tǒng)計塵埃粒子的數(shù)量。

薄膜材料無塵車間塵埃粒子在線監(jiān)測系統(tǒng)特點

高精度傳感器，計數(shù)準(zhǔn)確，符合JJF1190-2008規(guī)范；

支持拓展成0.3um、0.5um、1um 、3um、5um、10um 6個粒徑檔監(jiān)測；

2.4寸智能觸摸屏，快速響應(yīng)、人機交互，實時顯示監(jiān)測數(shù)據(jù)；

支持根據(jù)要求進行定制化顯示界面；

儀器內(nèi)置真空源，震動小、噪音低、性能穩(wěn)定；

支持在屏幕上直接自行設(shè)定儀器地址，便于現(xiàn)場替換；

屏幕數(shù)據(jù)報警，帶流量傳感器實時監(jiān)測流量并對流量進行實時自調(diào)節(jié)；

采用日本進口半導(dǎo)體激光源，壽命大于30000小時（需每年標(biāo)定）；

RS485通訊，支持ModbusRTU協(xié)議，支持定制化通訊協(xié)議；

可增加無線天線，升級為無線傳輸方式（選配）；

支持智能物聯(lián)，遠(yuǎn)程啟動，提高潔凈度監(jiān)測質(zhì)量。

產(chǎn)品參數(shù)